Storia del progetto cicloalifatico in resina epossidica per Arf Photorist of Tetra New Materials

Otto anni di sforzi con un grande successo, materiali di fascia alta per perseguire i sogni

Esiste un monomero epossidico cicloalifatico di tipo acrilico (metile) con vendite annue inferiori a 200t, ma è stato elencato nella categoria dei materiali "collo di bottiglia" che devono essere affrontati con urgenza nelle linee guida per la dimostrazione delle prime applicazioni batch di nuovi materiali chiave (edizione 2019 e edizione 2021) Dal Ministero dell'Industria e dell'Information Technology, con la ragione che è uno dei monomeri più utilizzati nella catena industriale globale di fotoresistenza ArF.

Il fotorrismo, noto anche come resistenza fotosensibile, è un mezzo utilizzato per il trasferimento di pattern attraverso reazioni fotochimiche. È un tipo di chimica fine caratterizzata da varietà assortite, proprietà diversificate e ampie applicazioni. Utilizzato principalmente nell'elaborazione fine di circuiti integrati e dispositivi a semiconduttore discreti nell'industria elettronica, il fotoresimo consiste nel trasferire i modelli fini richiesti dalla maschera al substrato per essere elaborati attraverso l'esposizione e lo sviluppo sotto la reazione fotochimica, quindi subire il processo di incisione, diffusione, impianto ionico e metallizzazione. Pertanto, è il materiale chimico di base chiave nell'industria elettronica.

Il progresso dell'industria elettronica è strettamente correlato allo sviluppo di photorrist. Se non esiste una tecnologia di base del fotoresimo a semiconduttore in mano, l'industria dei circuiti integrati in Cina sarà comunque limitata anche se viene fatta qualche svolta nella macchina di fotoincisione. Allo stato attuale, oltre il 90% delle quote di mercato del fotoresistente a semiconduttore sono state occupate da imprese in Giappone, Corea e Stati Uniti, con i principali produttori tra cui JSR, TOK, Fuji Electronics, shin-Etsu e Sumitomo Chemical in Giappone e Dow Chemical negli Stati Uniti. Sebbene il fotorrismo domestico sia stato sviluppato negli ultimi anni, può solo lottare per scoperte nei mercati di fascia alta, specialmente nel campo del fotorrismo Arf. Poiché principalmente i processi di base della produzione di materie prime sono padroneggiati da imprese straniere, questa barriera rende anche difficile per i produttori nazionali sviluppare prodotti di alto livello.

Alla fine del 2015, una nota impresa fotoresistente straniera ha affermato che "esiste un monomero epossidico cicloalifatico di tipo acrilico sul mercato che rappresenta una grande percentuale nel loro sistema di formula fotoresistente, ma solo un'impresa giapponese può fornire tale prodotto alla rinfusa. Pertanto, possono correre il rischio di rimanere senza scorte in qualsiasi momento e l'impresa ha invitato Tetra a fornire tale tipo di prodotti in virtù dell'accumulo tecnico nel campo diResine epossidiche cicloalifatiche”. Di fronte a questa nuova opportunità di mercato, Tetra New Materials ha creato un team speciale per il progetto photorrist (PR-001 del codice di progetto interno) con il direttore generale come capo del team, il direttore tecnico come responsabile del progetto. Il team del progetto era composto da professionisti di talento nello sviluppo dei processi, nell'analisi di ricerca e sviluppo, nella tecnologia di processo, nella tecnologia di ingegneria, nello sviluppo della produzione e nella catena di fornitura per affrontare insieme i problemi nelle tecnologie chiave.

Foto di gruppo del team di progetto

Sulla base del programma complessivo di "due anni per la produzione di laboratorio, due anni per la produzione pilota e tre anni per la produzione di massa", il team di sviluppo del processo ha condotto più di 1000 prove in laboratorio in oltre 600 giorni, risolto problemi nella selezione del percorso di processo, indici di materie prime e ausiliarie e intermedi, screening del catalizzatore, Screening degli inibitori, polimerizzazione del prodotto durante il processo di distillazione, ingiallimento del prodotto, analisi del polimero e di altre impurità (impurità chiave <0,1%; il polimero non rilevato è richiesto), inibitore eccessivo, viscosità eccessiva (≤ 15cps) e ioni metallici eccessivi (il contenuto di 12 tipi di ioni metallici ≤ 50ppb) E infine ha fornito cinque lotti di campioni ampliati in laboratorio per i clienti nel 2017 e ha superato il test di laboratorio del cliente all'inizio del 2018.

Team di sviluppo dei processi che esplora i parametri di rettifica	Team di analisi di ricerca e sviluppo che valuta la qualità del prodotto

Dopo aver superato il test di laboratorio, i membri del team sono stati molto incoraggiati e hanno effettuato un test pilota da 100kg per il prodotto. In quasi due anni, hanno affrontato varie questioni nel test pilota, hanno introdotto tecnologie di distillazione azeotropica e separazione a membrana per raggiungere vari indicatori tecnici del test di laboratorio e hanno superato senza problemi il test pilota del cliente nel 2019. In virtù delle solide fondamenta della fase di test pilota, i prodotti sono stati prodotti in modo stabile nella base di Taixing in Jiangsu dal 2021 e hanno anche superato la verifica della linea di produzione del cliente. Nel 2022, la produzione di prova di tali prodotti è stata lanciata nella base di Dongying nello Shandong e i campioni vengono inviati ai clienti per la verifica.

Parametri del dispositivo di debug del personale di produzione pilota	Ingegnere tecnico che simula le applicazioni a valle

L'implementazione di questo progetto non solo ha arricchito le categorie di prodotti di Tetra New Materials, ma ha anche ulteriormente costruito il team di progetto e accumulato molti risultati tecnologici e know-how. Abbiamo successivamente ottenuto 3 brevetti per l'invenzione, 8 brevetti per i modelli di utilità e con successo abbiamo fatto domanda per i fondi speciali provinciali/comunali per la commercializzazione dei principali risultati scientifici e tecnologici.

TTA153 4 metacrilato di epossicicloesilmetileE TTA16Esteri acrilati all'ingrossoSono i primi due prodotti nel campo del fotoresimo dei semiconduttori investiti da Tetra. Poiché i materiali di resina più critici in fotoresistenza sono solitamente sintetizzati in modo indipendente da diversi produttori, la competitività di base dei prodotti è altamente correlata all'abbondanza di materie prime a monte e al livello della tecnologia di sintesi. Pertanto, cercare le materie prime a monte è il primo passo per rompere il blocco dei materiali dei produttori stranieri. Rispetto a varietà simili, TTA15 e TTA16 non solo hanno notevolmente migliorato la resistenza all'invecchiamento termico, ma hanno anche offerto un'eccellente reattività, che sono l'importante supplemento delle proprietà chiave dei materiali sintetici e colmano anche la lacuna nella localizzazione di questo tipo di materie prime.

Tetra New Materials è sempre impegnata nella localizzazione di materiali epossidici cicloalifatici essenziali nello sviluppo del fotoresimo e continuerà a contribuire all'ascesa dell'industria cinese dei circuiti integrati.

Informazioni su Tetra

Tetra si è posizionata in materiali epossidici di fascia alta sin dalla sua fondazione, con l'obiettivo di diventare un fornitore di soluzioni perfette con un marchio internazionale di prima classe nel nuovo settore dei materiali. Dopo lo sviluppo di più di 10 anni, l'azienda ha rotto con successo il blocco tecnico delle imprese straniere nel campo, realizzò la sostituzione localizzata di vari monomeri epossidici cicloalifatici e formò una serie di sistemi tecnici con diritti di proprietà intellettuale indipendenti. Allo stato attuale, la Società ha posseduto più di sessanta brevetti. Oltre a soddisfare pienamente le esigenze delle tradizionali industrie a valle in patria e all'estero, questi prodotti sono stati ampiamente utilizzati anche in nuovi campi come rivestimenti/inchiostri UV curabili, materiali compositi, adesivi, isolamento elettronico ed elettrico, materiali da imballaggio a semiconduttore, produzione additiva di stampa 3D, ecc.

L'azienda ha ora un team di gestione di alta qualità composto da professionisti impegnati in applicazioni di ricerca e sviluppo e tecnologia nel campo dei nuovi materiali. Abbiamo istituito il centro di tecnologia di ingegneria di resina epossidica e il centro di servizio di tecnologia di applicazione dotato di catena di tecnologia completa tra cui laboratorio per test di laboratorio, laboratorio di sicurezza, laboratorio di test di espansione della scala di chilogrammo, dispositivo di trasformazione pilota, ecc. Guidati dalla filosofia di funzionamento di "Internazionalizzazione, Tecnicalizzazione e Greenizzazione", La società ha adottato la gestione precisa e professionale, l'innovazione e l'imprenditorialità come motivazione spirituale e programma d'azione per lo sviluppo aziendale per migliorare la competitività di base guidata da organizzazione, tecnologia, costi e qualità, servire il cliente, la concorrenza e cambiare gli obiettivi di business e si sforzano di creare il massimo valore per i clienti.

Al fine di migliorare le responsabilità sociali aziendali, la Società ha attribuito grande importanza alla protezione dell'ambiente, promuovendo la pulizia della produzione e passando la certificazione del sistema di gestione ambientale ISO14001; inoltre, la Società ha sempre aderito alla politica di produzione di sicurezza di "Sicurezza assoluta, prevenzione in primo luogo, gestione completa, Partecipazione completa e miglioramento continuo "e ha superato la certificazione OHSASI 18001 e la certificazione di standardizzazione della produzione di sicurezza.

Negli ultimi anni, la Società continua a rafforzare lo sviluppo di nuovi prodotti e tecnologie e si impegna a creare un punto di riferimento cinese per l'applicazione di nuovi materiali chimici e guidare le richieste nazionali per spingere l'aggiornamento diResine epossidiche specialiIndustria in Cina.